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含氟電子氣分析用氦離子色譜儀

簡要描述：含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量。

  • 產(chǎn)品型號：GC-9560-PDD
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2025-04-09
  • 訪  問  量： 3875

詳細介紹

含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項目。


氟的技術(shù)指標：

項目指標
氟（F2）（體積分數(shù)）/10-2                  ≥99
氧（O2）+氮（N2）（體積分數(shù)）（N2）/10-2≤0.45
四氟化碳（CF4）（體積分數(shù)）/10-2≤0.05
氟化氫（HF）（體積分數(shù)）/10-2≤0.5


氟氮混合氣的技術(shù)指標：

項目指標
氟（F2）（體積分數(shù)）/10-2  　20
氮（N2）（體積分數(shù)）（N2）/10-2　80
氧（O2）（體積分數(shù)）（N2）/10-2≤0.08
四氟化碳（CF4）（體積分數(shù)）/10-2≤0.03




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