一、電子氣(electrongas)，是2019年經全國科學技術名詞審定委員會審定發布的物理學名詞。
 

　　二、按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI(大規模集成電路)級，VLSI(超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路)級。
 

　　三、大宗特氣系統(BSGS)的及時應用有利于提高污染控制。首先大包裝容器保證了氣體品質的連續性，降低了多次充裝污染風險。另外由于換瓶頻率的減少，也減少了污染幾率。BSGS多采用了深層吹掃，顯著提高了吹掃效果。
 

　　四、對于大流量的BSGS，不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發吸熱對流量的影響，還要考慮氣體經過調壓閥減壓后的焦耳-湯普遜效應。一般而言，氣體減壓后，溫度會降低，甚至液化。這會照成輸送壓力的不穩定以及管路系統的損壞。因此需要考慮在減壓前對氣體進行預熱。氣體監控系統(GMS)通過計算機網絡，實現對氣體輸送系統的實時監控，以確保系統的穩定性。
 

　　五、輸送管道一般采用無縫SS316LEP管。施工采用自動軌道焊接，經保壓、氦檢漏和純度測試。對于劇毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。一些劇毒氣體如磷烷、砷烷等，安全輸送系統(SDS)正在被廣泛使用。其鋼瓶內采用負壓吸附的方式，用真空法輸送，從根本上避免了氣體的泄漏。