高純氣體分析儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質的檢測，儀器配備高靈敏度的氦離子化（PDHID）檢測器，該檢測器通過氦放電發射連續輻射光進行光電離、高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB產生信號，以及亞穩態氦與組分或雜質反應電離產生信號等方式，實現對被測氣體的電離。被測氣體進入檢測器后，在放電區被激發并電離，產生的離子在電場作用下被收集，形成電信號。通過測量電信號的大小，可以得知被測氣體中雜質的含量。

高純氣體分析儀采用中心切割與反吹技術，配置具有吹掃保護氣路的進樣切換閥和進口氦氣純化器，通過無死體積取樣或在線進樣方式，一次性完成上述高純氣體中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質或C1-C4等碳氫化合物的檢測，檢測限達ppb級，重復性RSD≤1％。

在選擇高純氣體分析儀時，應考慮儀器的靈敏度、重復性、量程范圍以及自動化程度等因素。同時，還應根據實際需求選擇合適的色譜柱和檢測器。在使用儀器時，應嚴格按照操作手冊進行操作，確保儀器的正常運行和檢測結果的準確性。同時，還應定期對儀器進行維護和保養，延長儀器的使用壽命。